2025-04

반도체 제조 시설에서 사용되는 사족보행 검사로봇의 운용 지침

제안자 소속 

SK 하이닉스

 제안자 성명

                                                                         최주영

해당 분과 

SC 11

로봇 응용

과제 채택일 

2025.05.28.

제75차 운영위원회 

표준 제정일 

진행중 

제정 표준 

진행중 

제안 표준 내용 요약 

- 본 표준은 반도체 제조 시설에 도입하여 활용하는 사족보행 검사로봇의 운용 지침에 대해 제공하기 위해 작성하였음

- 사족보행 로봇은 신기술의 특성 상, 참고할 수 있는 실제 활용 사례와 관련 표준도 부재한 상황이므로 본 운용 지침을 통하여 반도체 제조 시설 내 사용되는 사족보행 검사로봇을 대상으로 설치 및 운용에 도움이 되도록 아래의 내용을 포함한 운용지침을 제공함

- 적용범위, 인용표준, 용어의 정의, 위험성 평가, 환경 요구조건, 사족보행 검사로봇 요구조건, 작업자 교육과 사용정보로 구성하였음

 기존 표준과의 차별성 및 필요성

- 4족보행 로봇은 신규 Tech 특성 상 참고할 수 있는 실제 활용 사례가 많지 않고, 안전 표준도 국내외 로 부재한 상황이다. 실제 반도체 Fab 현장에서 약 3년 동안 활용한 경험 및 사례를 기반으로 로봇을 반도체 제조 시설에서 사용하고자 할 때 로봇의 안전한 설치 및 운용을 위해 고려해야 하는 요소에 대한 Guide(지침)을 제안하려고 함. 기존의 표준(ISO 10218, ISO 12100 등)에서 4족보행로봇 특성에 적합한 항목들은 기본적으로 인용하되, 추가적으로 전문가 집단의 의견을 수렴하여, 위험성 항목들을 도출하고 로봇 운용 표준을 개발하고자 한다. 로봇 제조(H/W, S/W) 측면보다 실내외 활용 현장과 실제 운영자의 관점에 집중하여 개발함으로써 로봇의 End-user 입장에서 안전한 운영을 위한 표준으로 활용될 것을 기대함(작업장 환경, 센서 활용, 충돌방지 등).